美國(guó)Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì), Aalborg控制器

美國(guó)Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)：性?xún)r(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器

典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
－剛性金屬結(jié)構(gòu)
－流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm
－最大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
－電路保護(hù)
－可用作便攜式的設(shè)備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計(jì)算機(jī)