1910年捷克斯洛伐克作家卡雷爾·恰佩克在他的科幻小說中，根據Robota（捷克文，原意為“勞役、苦工”）和Robotnik（波蘭文，原意為“工人”），創造出“機器人”這個詞。
1911年美國紐約世博會上展出了西屋電氣公司制造的家用機器人Elektro。它由電纜控制，可以行走，會說77個字，甚至可以抽煙，不過離真正干家務活還差得遠。但它讓人們對家用機器人的憧憬變得更加具體。
1912年美國科幻巨匠阿西莫夫提出“機器人三定律”。雖然這只是科幻小說里的創造，但后來成為學術界默認的研發原則。
1913年諾伯特·維納出版《控制論——關于在動物和機中控制和通訊的科學》，闡述了機器中的通信和控制機能與人的神經、感覺機能的共同規律，率先提出以計算機為核心的自動化工廠。
1914年美國人喬治·德沃爾制造出世界上第一臺可編程的機器人（即世界上第一臺真正的機器人），并注冊了專利。這種機械手能按照不同的程序從事不同的工作，因此具有通用性和靈活性。
1915年在達特茅斯會議上，馬文·明斯基提出了他對智能機器的看法：智能機器“能夠創建周圍環境的抽象模型，如果遇到問題，能夠從抽象模型中尋找解決方法”。這個定義影響到以后30年智能機器人的研究方向。
1959年德沃爾與美國發明家約瑟夫·英格伯格聯手制造出第一臺工業機器人。隨后，成立了世界上第一家機器人制造工廠——Unimation公司。由于英格伯格對工業機器人的研發和宣傳，他也被稱為“工業機器人之父”。
1962年美國AMF公司生產出“VERSTRAN”（意思是萬能搬運），與Unimation公司生產的Unimate一樣成為真正商業化的工業機器人，并出口到世界各國，掀起了全世界對機器人和機器人研究的熱潮。
1962年-1963年傳感器的應用提高了機器人的可操作性。人們試著在機器人上安裝各種各樣的傳感器，包括1961年恩斯特采用的觸覺傳感器，托莫維奇和博尼1962年在世界上最早的“靈巧手”上用到了壓力傳感器，而麥卡錫1963年則開始在機器人中加入視覺傳感系統，并在1964年，幫助MIT推出了世界上第一個帶有視覺傳感器，能識別并定位積木的機器人系統。
1965年約翰·霍普金斯大學應用物理實驗室研制出Beast機器人。Beast已經能通過聲吶系統、光電管等裝置，根據環境校正自己的位置。20世紀60年代中期開始，美國麻省理工學院、斯坦福大學、英國愛丁堡大學等陸續成立了機器人實驗室。美國興起研究第二代帶傳感器、“有感覺”的機器人，并向人工智能進發。
1968年美國斯坦福研究所公布他們研發成功的機器人Shakey。它帶有視覺傳感器，能根據人的指令發現并抓取積木，不過控制它的計算機有一個房間那么大。Shakey可以算是世界第一臺智能機器人，拉開了第三代機器人研發的序幕。
1969年日本早稻田大學加藤一郎實驗室研發出第一臺以雙腳走路的機器人。加藤一郎長期致力于研究仿人機器人，被譽為“仿人機器人之父”。日本專家一向以研發仿人機器人和娛樂機器人的技術見長，后來更進一步，催生出本田公司的ASIMO和索尼公司的QRIO。
1973年世界上第一次機器人和小型計算機攜手合作，就誕生了美國Cincinnati Milacron公司的機器人T3。
1978年美國Unimation公司推出通用工業機器人PUMA，這標志著工業機器人技術已經完全成熟。PUMA至今仍然工作在工廠第一線。
1984年英格伯格再推機器人Helpmate，這種機器人能在醫院里為病人送飯、送藥、送郵件。同年，他還預言：“我要讓機器人擦地板，做飯，出去幫我洗車，檢查安全”。
1990年中國著名學者周海中教授在《論機器人》一文中預言：到二十一世紀中葉，納米機器人將徹底改變人類的勞動和生活方式。
1998年丹麥樂高公司推出機器人（Mind-storms）套件，讓機器人制造變得跟搭積木一樣，相對簡單又能任意拼裝，使機器人開始走入個人世界。
1999年日本索尼公司推出犬型機器人愛寶（AIBO），當即銷售一空，從此娛樂機器人成為機器人邁進普通家庭的途徑之一。
2002年美國iRobot公司推出了吸塵器機器人Roomba，它能避開障礙，自動設計行進路線，還能在電量不足時，自動駛向充電座。Roomba是目前世界上銷量最大、最商業化的家用機器人。iRobot公司北京區授權代理商：北京微網智宏科技有限公司。
2006年6月，微軟公司推出Microsoft Robotics Studio，機器人模塊化、平臺統一化的趨勢越來越明顯，比爾·蓋茨預言，家用機器人很快將席卷全球。